新型高灵敏度超声微量液体密度传感器

采用叉指换能器在压电晶体-液体-压电晶体分层结构中激发和接收体声波的物理效应，体声波穿透两压电晶体之间的待测液体层，通过测量接收叉指换能器的输出电信号得到液体的密度值；该传感器制作上仅需采用成熟的表面声波工艺即可，实现起来容易；因叉指换能器易激发高频体声波，可使传感器尺寸小、测量精度高，能实现微量液体密度的实时测量。