适合光存储和磁光存储的氧化银薄膜热稳定性和短波响应研究

上世纪九十年代出现的超分辨近场技术通过产生近场光，可突破分辨极限, 减小光点尺寸，使超高密度大容量存储成为可能。这一超分辨近场结构中，采用氧化银的纳米颗粒和产生的表面等离子体获得复合效应。作为一种重要的宽带隙光电功能材料，氧化银的物理性质特别是光学性质有助于短波方向的光和磁光存储密度的提高。尽管室温下制备的氧化银薄膜的光学性质和热分解过程已进行了详细研究，但其微结构和光学性质之间并没有建立对应模型，而且其热分解的临界温度均在400℃以上，这将成为其在大容量光存储和磁光存储应用的瓶颈。基于此，本课题采用磁控反应溅射技术，通过提高衬底温度和优化氧氩比的方法制备氧化银薄膜。并通过对其热稳定性和短波响应研究，建立其微结构和光学性质之间的对应模型，获得热分解过程中的成分、微结构和相结构的演变信息，降低热分解的临界温度, 提高热分解和短波响应速度，制备出适合短波方向的光存储和磁光存储的氧化银薄膜。