微系统的新型化学加工技术与重要基础问题
基本信息
批准号：29833070
项目类别：重点项目
资助金额：90.00
负责人：田昭武
学科分类：
依托单位：厦门大学
批准年份：1998
结题年份：2002
起止时间：1999-01-01 - 2002-12-31
项目状态： 已结题
项目参与者：周兆英,罗瑾,叶雄英,孙立宁,程旋,祖延兵,熊沈蜀,龚秋莲
关键词：
微系统微(纳米)加工微流量系统
结项摘要
建立用于三维超微(纳米)图形复加工的约束刻蚀剂层新技术,在某些半导体和金属材料上实现复杂三维超微图形及纳米级平整表面复制加工，并争取应用于微系统的研究和制造。进行模板体系设计和制作方法的研究，研究微流体的过流特性和相关理论。建立可现场监控刻蚀深度的高精密微位移系统。开展相关实验与应用研究。.
项目摘要
项目成果
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数据更新时间：2023-05-31
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