面向微纳光电集成的硅基二元闪耀波导光栅的研究

本课题研究高性能、低成本的波导光栅垂直耦合及滤波的解决方案，揭示和探索非对称周期微纳结构实现对光信号的波长、模场形态、偏振、色散、滤波、速度控制与操作的新方法，从而为多功能大规模光电子单片集成开辟新的途径。.重点研究面向微纳光电集成的硅基二元闪耀波导光栅器件，研究高效、低成本光电集成芯片波导耦合及其相关器件的设计和研制；以及窄带和宽带二元闪耀波导光栅滤波器的灵活实现方法及其相关器件的设计和研制。并用高精度硅基微纳加工技术制作用于微纳集成光路尤其是SOI光波导系统的耦合及滤波器件，努力改变国内微纳光电子器件加工技术的落后状况，加快实现微纳光电子器件的实用化。