离子注入形成波导新方法的研究
基本信息
批准号：10375037
项目类别：面上项目
资助金额：35.00
负责人：卢霏
学科分类：
依托单位：山东大学
批准年份：2003
结题年份：2006
起止时间：2004-01-01 - 2006-12-31
项目状态： 已结题
项目参与者：王克明,范云正,张建华,付刚,姜毅,张婷婷,贾传磊
关键词：
MeV波导重离子注入折射率分布光学非线性性质
结项摘要
波导结构是光电子器件的基本结构，能在光学材料上制作出符合器件功能要求的波导结构是波导实现应用的基础，因此探索新的波导制作方法具有重要的意义。基于我们以往和最近的研究成果，我们提出了采用原子序数较大的离子低剂量注入光学材料可以在材料表面形成异常折射率增高的光学波导的新方法，该方法与传统的外延，扩散，交换和轻离子注入相比具有注入成本低，适用材料广，此外这种波导仍保留原有晶体的光学性质，并且没有隧道效应
项目摘要
项目成果
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数据更新时间：2023-05-31
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