研究了肖特基发射阴极应用于扫描电子显微镜中的各种问题:电子与电子间的相互作用;高能电子使空间气体分子电离;电子轰击吸极,枪壁产生脱附气体的分析;设计出相应的真空系统,枪静电透镜系统,电子光学系统。研制出了保护灯丝用打火抑制器,实验摸索真空系统表面处理及工作规范,摸索出肖特基阴极的工作、启动规范等,研制成功了我国第一台分辨率达到25A的扬发射扫描电子显微镜。
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数据更新时间:2023-05-31
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