离子注入法制备硅基发光材料及其发光机制研究

由于光电子器件、现代通讯等领域的发展需要，世界上已广泛开展硅基发光材料研究。我们拟充分利用与现代微电子技术相匹配的离子注入技术，制备出发光波长可控，并且具有较高发光效率的非晶硅基发光材料。通过系统研究薄膜的微观结构与发光特性之间的相互关系，深入探讨发光机制，为进一步开发和应用硅基发光材料奠定实验及理论基础。