取向薄膜残余应力测试及对膜基结合强度影响研究
基本信息
批准号：59581006
项目类别：专项基金项目
资助金额：11.00
负责人：何家文
学科分类：
依托单位：西安交通大学
批准年份：1995
结题年份：1998
起止时间：1996-01-01 - 1998-12-31
项目状态： 已结题
项目参与者：于利根,傅永庆,郭环,谢永惠,陈华,孙海林
关键词：
残余应力强度薄膜
结项摘要
项目摘要
项目成果
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数据更新时间：2023-05-31
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