微小物体光学度量

科学于生产的发展使研究对象和产品的尺寸越来越小，微小光学度量学是适应这些要求的新技术。它是生物医学、半导体、光电子工业的重要工具。本研究采用激光光缆投影，光学显微放大，光电子与计算机图象处理、相位测量技术等完成分辨率１０纳米的三维形态测量，它具有比国外现有激光扫描显微测量更高的分辨率、全场及快速测量以及形态测量的优点。