微纳米结构是微电子及MEMS等技术中常见结构。对于体材料,界面的不平整产生的接触热阻对固体的导热产生极大的影响;而对于微电子技术制造的微纳米结构,界面间没有因粗糙度产生的接触热阻,热阻主要来自于界面对声子的散射。由于结构尺度接近或小于声子平均自由程,固体间界面对声子的散射主导了微纳米结构导热的过程,即微观接触热阻,对决定热导率起到了主要作用。本项目利用分子动力学方法研究声子在微纳米结构界面的传递和
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数据更新时间:2023-05-31
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