本研究首次发现了BF2(+)注入硅的损伤区别于常规离子注入的反常行为,得到了与文献不同的结论,文献中认为对质量大于Al(+)的较重的离子,注入无定形层总是在损伤密度分布的峰值处首先形成,而我们的研究结果揭示,质量数大于Al(+)的BF2(+)在低温下注入形成的无定形层首先在近表面形成。系统比较研究了BF2(+)以及相应的B(+),F(+)注入硅的损伤行为,发现BF2(+)注入损伤的非线性增强,并得出了损伤增强因子与注入能量、剂量、靶温的关系,室温注入时,损伤呈双峰分布:表层损伤—单晶层—体内损伤层,BF2(+)注入存在显著的表层损伤增强。成功地以我们提出的多体碰撞模型解释了BF2(+)注入的损伤增强效应,并发现其表层损伤增强因子可用相应的核阻止本领dE/dxee值来估算。
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数据更新时间:2023-05-31
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