铁电系陶瓷波膜的制备及其微细图形化研究

溶胶—凝胶法制备的铁电系陶瓷波膜，很难用传统的刻蚀法对其进行微细加工。本课题结合溶胶—凝胶制膜特点，把配位化学与光化学的理论引入制膜过程，使薄膜在凝胶阶段具有紫外感光性，从而能利用紫外光对其进行微细加工。进而研究凝胶膜化学结构、光化学反应、凝胶膜到无机膜的转化规律等。其结果将对铁电膜微细图形化新技术的确立提供理论依据。