基于自加热悬臂梁的谐振式MEMS气体传感器研究
基本信息
批准号：50605040
项目类别：青年科学基金项目
资助金额：18.00
负责人：董瑛
学科分类：
依托单位：清华大学
批准年份：2006
结题年份：2009
起止时间：2007-01-01 - 2009-12-31
项目状态： 已结题
项目参与者：尤政,于世洁,李滨,周勤,邢飞,吕鹏
关键词：
悬臂梁气体传感器谐振MEMS
结项摘要
气体成分的现场快速检测在安全、环保、健康等方面起着极其重要的作用。基于气体传感器的自动检测技术成为气体检测的主要发展方向。悬臂梁谐振式气体传感器能够达到很高的检测灵敏度和精度，成为气体传感器的研究热点。研究表明，加热可使许多常温下不能用作气体检测材料的化学物质变得可用，还可有效改善气敏材料的理化性质，如加快反应速度，使材料具有可重复利用性等。以不同的策略间歇性的加热并测量加热动态过程的响应，根据响
项目摘要
项目成果
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数据更新时间：2023-05-31
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