FET式氧化物纳米晶新型气敏元件的研制

本项研究采用化学合成方法制备多种具有优异气敏特性的单一氧化物和复合氧化物的纳米晶颗粒材料和薄膜材料作为敏感材料，利用微电子工艺技术研制一种新型的纳米晶氧化物场效应气敏元件。该工艺技术与硅集成技术可实现兼容，本项研究对促进敏感元件向小型化、集成化、多功能及智能化方向发展具有重要价值，对开发纳米材料在传感器领域的应用具有实际意义，本项研究中所发现的纳米材料的温敏特性和光催化特性等对相关领域也具有重要和科学意义和开发价值。本项工作在国内外学术刊物已发表论文8篇，其中一部分工作获国家教委科技进步三等奖一项。