微细透镜及模具的无电极ELID斜轴磨削工艺的理论及实验研究

本项目创新性地提出一种无电极在线电解修整和修锐微细砂轮的方法，并综合微细斜轴磨削技术和ELID镜面磨削技术，以口径在几毫米以下的超精密微细透镜及其微细模具中的各种微小球面，微小非球面，微细沟槽加工为主要对象，对各种微细形状的纳米级精度的微细磨削进行深入和系统的研究。通过采用所提出无电极ELID斜轴磨削技术，利用微细砂轮来进行纳米精度级的加工，达到亚微米级的形状精度和纳米精度级的表面粗糙度的要求。为微细形状的纳米磨削技术的发展奠定坚实的理论基础，并进一步推动微细超精密/纳米级精度的机械加工技术的机理研究。