光热偏转光谱测定掺氮磷化镓材料氮浓度及其分布的研究

用光热偏转光谱、光声光谱、调制光反射等三种技术，探讨无损检测三层不均匀样品GaP:N中氮浓度分布的方法。由理论上推导出的非均匀样品光热信号辐度与照到样品上的光调制频率关系指出：根据表面光声或光热信号随调制频率变化的斜率大小可以推断出样品内层间的吸收系数之间的关系。试验结果也证明了这一结论，基于样品中吸收系数正比于氮浓度，因而可以判断样品内部氮浓度分布。提出了一种通过测定样品表面光热信号，反演多层不均匀材料中光吸收系数纵向分布的理论处理及新的有效数值计算方法，计算表明选择和使用合适的逼进模型及采用高精度的数值积分公式可以较逼真的反映样品内部吸收系数分布。