电子回旋共振放电电离特性的PIC/MCC模拟

拟发展三维的粒子模拟与蒙特卡罗相结合的方法，在电磁模型下，对电子回旋共振放电的电离过程进行理论及计算机模拟研究，揭示电子回旋共振放电电离特性以及电子回旋共振等离子体源特性。研究主要内容为：1.电离过程中的带电粒子与微波的相互作用、粒子的输运过程、带电粒子与边界的相互作用、微波传播特性等；2.电子回旋共振等离子体源特性；3.不同中性气压、外加磁场形态、输入微波功率及微波模式、衬底偏压、二次电子发射效应等对电子回旋共振放电电离特性及生成电子回旋共振等离子体源特性的影响。加深对电子回旋共振放电电离过程的理解，了解和掌握电子回旋共振等离子体源的特性，从而为电子回旋共振等离子体沉积等实际应用的理论指导奠定基础。

对电子回旋共振放电的电离过程进行了三维粒子模拟与蒙特卡罗相结合的模拟研究，揭示电子回旋共振放电电离特性以及电子回旋共振等离子体源特性。.研究主要内容为：1.电离过程中的带电粒子与微波的相互作用、粒子的输运过程、带电粒子与边界的相互作用、微波传播特性等；2.电子回旋共振等离子体源特性；.3.不同中性气压、外加磁场形态、输入微波功率、二次电子发射效应等对电子回旋共振放电电离特性及生成电子回旋共振等离子体源特性的影响。.通过以上研究加深了对电子回旋共振放电电离过程的理解，了解和掌握了电子回旋共振等离子体源的特性，可以为电子回旋共振等离子体沉积等实际应用起理论指导作用。