高亮度ZnS:Mn电致发光薄膜新工艺与性能研究

项目把有机金属化学气相淀积（MOCVD）技术用于制备交流薄膜电致发光器件的发光层。研究了淀积条件对薄膜性质的影响，掺杂条件对获得锰的最佳掺入浓度的影响及淀积时气压对膜的均匀性通过对ZnS：Mn层X光衍射表明淀积温度大于350℃膜的粒度增加，结晶性大为改善。作为发光中心的Mn（2+）的掺入浓度与状态是获得高亮度电致发光的关键，研究了有机锰源热裂解温度对有效掺入淀积层的关系，二次离子质谱测量表明Mn（2+）在淀积层中分布是均匀的。淀积室气压降低有利于大面积均匀的ZnS：Mn膜。在上述发光层两侧加上透明电极和金属电极制成交流薄膜电致发光屏，光刻电极制成64×64的矩阵屏在1KH2下获得亮度1500cd/m(2)效率2.01m/w。达到预期目标。