基于体硅工艺的微机械可调微波滤波器

今后的军、民用雷达及通信系统一般需具备带宽大、频率捷变、小型化、便携、低功耗和多用途等特点，故迫切需要可调谐、低损耗、可集成性好的滤波器、匹配网络以及天线等关键部件。本项目拟对基于微机械可变电容及分布式结构的可调微波滤波器这一可集成的新型微波器件开展研究：1）对其工作机理和内部的机械结构、电磁场的变化规律进行深入的理论分析；2）通过电磁场、电路网络仿真和结构有限元仿真等手段对器件的机械结构与电磁场进行耦合数值仿真，以求更为详细的了解其内部的应力及电磁场的分布与变化规律，掌握相应的仿真、建模方法；3）在前期形成的成套移相器体硅加工工艺基础上通过工艺试验开发针对该器件的优化的加工工艺流程；4）根据微机械微波器件的特点，研究其相应的力学和微波特性测试原理和方法。完成器件测试；5）在上述工作基础上进行结构优化，并总结其设计规律，为器件在小型化、机载雷达及智能通信系统等领域中的实用化打下坚实的基础。