基于电磁组合激光溅射制膜方法的高性能过渡金属氧化物热电薄膜的研究与制备

热电材料以其能源性（热力发电）和环保性（热电冰箱）成为热门的功能材料。氧化物热电材料克服了传统热电材料易氧化和高温不稳定等缺点，因此倍受关注。过渡金属氧化物Ca3Co4O9因其内在特殊的层状晶体结构和独特的电子结构而具有良好的热电性能，成为当今研究的热点之一。"组合激光溅射制膜"是近年发展起来的新方法，在短时间内制备大量的成分和结构均匀变化的薄膜,迅速获得具有最佳性能的薄膜成分和结构，是高效的开发新材料的手段。本项目提出"电磁组合激光溅射制膜"的概念，将"组合激光溅射制膜"和电磁场有机结合,建立"电磁组合激光溅射制膜"的方法，更加高效、精确地控制膜的晶体结构。以Ca3Co4O9 为母材，利用"电磁组合激光溅射制膜"，制备高质量薄膜，同时采用多元掺杂替代的方法，改变薄膜的晶体结构和电子结构，提高其热电性能。除此而外,还研究在电磁场下,薄膜的生长规律、薄膜晶体结晶的热力学和动力学变化规律。