高精度超低频多维振动控制及精密定位微构件的研究

本项目针对超低频复杂振动环境，提出一种在同一构件上采用不同极化方式的分布压电阵进行传感与驱动，实施多维精密隔振、运动仰振和精密定位合一的新构思实现精密隔振平台微型化的新结构。研究建立该微结构多维压电振动的传感与控制模型、振动和定位控制策略及其关系的基本理论。从而提高我国精密测量设备的测量精度和自动化程度。