全波段室温型高性能锰钴镍薄膜探测器研究

全波段室温型红外探测器是当今的研究热点之一，在卫星红外地平仪、地球辐射探测仪上有重要应用。现有的MnCoNi陶瓷体材料探测器件在性能可靠性、使用寿命等方面存在严重不足，本项申请旨在突破MnCoNi材料的传统高温烧结制备方法，通过系统而科学的研究，采用湿化学方法在较低的温度450 C－650 C范围内生长均匀、致密、稳定、高TCR值的锰钴镍薄膜，发明与硅工艺兼容的样品制备方法，制备出大面积均匀致密的锰钴镍薄膜。并研究薄膜性能与其微结构之间的内在联系，优化薄膜的制备工艺，制备出性能可靠稳定、长寿命的单元探测器件，为制备室温焦平面列阵打下基础。该项目的实现对我国新一代红外探测器的发展将具有重要意义。