CdZnTe共面栅探测器的模拟设计和工艺研究

碲锌镉探测器具有广阔的应用前景。碲锌镉单极型探测器的研究正成为新的热占。本项目彩有限元和蒙特卡洛方法模拟分析碲锌镉共面栅单极型探测器中的三维电场分布、电荷输运和能谱响应特性；基于模拟分析结果，对探测器的几何结构进行优化设计；解决欧姆接触、光刻腐蚀及微条间钝化等器伯制备的关键工艺，最终研制出碲锌镉共面栅单极型探测器。