有序硅基纳米结构阵列的可控制备及其化学传感性能研究

针对目前纳米传感器存在加工技术复杂、检测条件苛刻、与当前半导体加工工艺不兼容难以实现大规模化生产与集成等问题，本项目拟开发一种低成本，与当前硅微加工工艺兼容的高灵敏度高选择性硅基纳米结构传感器的制备技术。利用一项具有自主知识产权的新型硅腐蚀加工工艺，结合纳米球模板和聚合物模板自组装方法，发展一种与硅微加工工艺兼容的有序硅纳米敏感结构的可控制备技术。利用硅纳米结构的高比表面积和表面物理化学性质，对其进行表面改性和物理化学修饰，实现硅基纳米敏感结构对一些特定化学物质的选择性探测。研制出具有自主知识产权的高灵敏度、高选择性、实时检测和具有自我修复能力的硅基纳米结构化学传感器，实现对氮氧化合物，氨气等有毒气体和沙林气体的超微量快速检测。本项目面向社会发展中的环境监控、化学检测，突发事件应急，生化防恐等重大需求，以研制出可集成化的超微量快速检测硅基纳米结构传感器为目标，因而具有重要的科学与实践意义。