非球面快速抛光工艺技术的研究

中小口径非球面快速抛光工艺技术是解决元件生产中低耗高效的重要手段，也是技术光学发展所急待解决的难题。本项目研究设计一种新型可计算机控制的柔性抛光工具，用于解决元件面形精度和表面光洁度的快速收敛问题，其中包括抛光工具的原理模型、工作方式、结构材料、抛光膜分布、硬度、加工力控制、溶液配比、软件设计等相关待，满足国家需要。