压电微传感器的振动及机电耦合的研究

本项目开展压电微传感的振动与机电耦合的理论和实验研究。在压电复合板或悬臂梁这个模型下，从压电体激发和振动的基础理论出发，对其振动和机电耦合作出理论分析。实验制备出压电微传感结构，并进行测试，将结果与数值模拟对比分析，通过本项研究，能对压电微传感器的物理规律有更深入的认识，并对器件的设计和工艺研究起到指导作用。