KEV级荷能原子(分子)集团束的材料改性和溅射研究
基本信息
批准号：19075067
项目类别：面上项目
资助金额：4.00
负责人：王震遐
学科分类：
依托单位：中国科学院上海应用物理研究所
批准年份：1990
结题年份：1993
起止时间：1991-01-01 - 1993-12-31
项目状态： 已结题
项目参与者：陈学诗,孔祥兴,兰云霞,魏永钦
关键词：
材料改性非线性级联碰撞集团离子溅射
结项摘要
项目摘要
项目成果
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数据更新时间：2023-05-31
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