率相关滞后和纳米移动系统的高速、高精度移动控制算法

纳米移动系统(nano-positioning system)是实现纳米尺度加工和制造的基本工具，将对发展下一代超大规模集成电路制造技术，高密度数据存储技术，光纤通讯技术及生物工程技术中细胞加工等发挥重要作用。高速、高精度的纳米移动系统对实现高效率、复杂加工有着十分重要的意义。制约纳米移动系统高速、高精度移动的核心问题之一是系统的率相关滞后(rate-dependent hysteresis)现象。本项目将应用连续离散混合系统理论(Hybrid System)建立能精确刻画率相关滞后的连续离散混合模型。在此基础上，研究如何有效地利用或消除率相关滞后和蠕变(creep)对纳米移动系统移动精度的影响，并研发出能对纳米移动平台实现高速、高精度移动的实时(on-line)控制算法。