建立了用Q3D谱仪和其焦面探测器对材料表面和内部的成分和杂质进行高深度分辨弹性反冲探测分析的技术。对轻元素如氢、碳的分析,深度分辨达到纳米量级。建立了用△E(气体)—E(半导体)望远镜探测器进行定量分析的弹性反冲深测技术。实现了同时对从轻至中重元素的含量及其深度分布的分析。以上技术在国内属首家。我们已应用该技术对GaN光电材料、超导膜等材料进行了分析。在本项工作基础上提出的课题“用弹性反冲探测分析轻元素的深度分布”已获得国际原子能机构的支持,列入了国际合作计划项目。
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数据更新时间:2023-05-31
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