锗上等离子体氧，氮化膜的制备与性质
基本信息
批准号：18870701
项目类别：面上项目
资助金额：2.50
负责人：刘春荣
学科分类：
依托单位：安徽大学
批准年份：1988
结题年份：1990
起止时间：1989-01-01 - 1990-10-01
项目状态： 已结题
项目参与者：余菊华,徐志元,戚震中,刘玲
关键词：
锗的等离子体氧化与氮化红外吸收光谱
结项摘要
项目摘要
项目成果
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数据更新时间：2023-05-31
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