气体放电产生强电子束的研究
基本信息
批准号：68880102
项目类别：专项基金项目
资助金额：9.00
负责人：杨正名
学科分类：
依托单位：东南大学
批准年份：1988
结题年份：1990
起止时间：1989-01-01 - 1990-12-31
项目状态： 已结题
项目参与者：
关键词：
微电子加工气体放电强电子束
结项摘要
项目摘要
项目成果
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数据更新时间：2023-05-31
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