单色仪分光旋转补偿器式红外椭圆偏振光谱仪
基本信息
批准号：60527005
项目类别：专项基金项目
资助金额：70.00
负责人：黄志明
学科分类：
依托单位：中国科学院上海技术物理研究所
批准年份：2005
结题年份：2008
起止时间：2006-01-01 - 2008-12-31
项目状态： 已结题
项目参与者：杨建荣,汤志鸣,侯云,吴玉年,薛建强,葛玉建,张朋翔
关键词：
旋转补偿器椭圆偏振光谱仪红外焦平面光电子红外
结项摘要
椭圆偏振光谱技术是随着现代科技的发展，近年来迅速发展起来的光学无损检测方法。它是一项绝对测量技术，在通讯、数字、光刻、半导体集成、微电子、纳米、材料等技术和相关的基础研究领域具有广泛应用价值。为满足国际国内红外光电子材料和器件深入研究的需求，本申请项目提出在红外波段直接采用单色仪分光形式实现固定起偏器、旋转补偿器和固定检偏器模式椭圆偏振光谱仪，包括精密硬件测量和复杂软件分析两部分的研究工作。解决光
项目摘要
项目成果
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数据更新时间：2023-05-31
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