制备高性能SOI材料的若干物理问题研究
基本信息
批准号：10254002
项目类别：专项基金项目
资助金额：50.00
负责人：周宏宇
学科分类：
依托单位：北京师范大学
批准年份：2002
结题年份：2005
起止时间：2003-01-01 - 2005-12-31
项目状态： 已结题
项目参与者：周宏宇,王荣,梁宏,马芙蓉,董悦安,卢志恒,陈如意,罗晏,马云志,吴虎才
关键词：
SOI材料SIMOX技术优化
结项摘要
针对SIMOX－SOI材料制备中的关键基础物理问题拟开展高效率高品质氧离子束的产生、输运、高温靶室的优化设计、非晶化和新表征技术的应用研究，以改善氧离子注入的均匀性、减少金属杂质污染和表面硅单晶的位错密度及埋层二氧化硅中分凝物密度，并发展新的物理测试诊断方法，为解决高品质SOI材料制备中的关键物理问题打下基础。.
项目摘要
项目成果
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数据更新时间：2023-05-31
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