X射线荧光RoHS检测基体效应实验与蒙特卡罗模拟研究

RoHS检测采用X射线能量色散荧光分析法，基体效应的影响和有关校正算法是决定测量准确度的关键。X特征射线和原级X射线在物体内部吸收和元素组分的关系十分密切，而不同元素对射线的吸收规律变化很大，另外二次荧光和多次荧光的影响也不容忽略。RoHS元素含量低，相关元素多，基体效应处理方法有别于已有的检测校正技术。采用蒙特卡罗方法可以模拟各种复杂的元素样品，可以大量计算不同激发条件下射线和元素间的影响规律，通过计算条件的改变对复杂物理过程简化和分解，模拟实际X射线能谱和测量过程得到一系列基础数据。同时开发一套实验谱仪系统，针对RoHS元素的特点选择测量参数，结合软硬件的改进提高能量分辨率。制备合适的样品组，通过模拟计算和实测相互印证，获取完备的一手数据，以此研究基体效应的一般规律。以基本参数法和影响系数法为理论指导，将不同元素的影响关系总结出可实现的数学形式，从而确定适用于RoHS测量的校正方法。