采用微波离子源的离子束增强气相沉积基础研究
基本信息
批准号：58971074
项目类别：面上项目
资助金额：4.00
负责人：张仲麟
学科分类：
依托单位：大连理工大学
批准年份：1989
结题年份：1992
起止时间：1990-01-01 - 1992-12-31
项目状态： 已结题
项目参与者：李承斌,王大庸,陈淑媛,刘军民,张学成,雷明凯,赵玉园,王洋,刘同富
关键词：
气相沉积离子微波等离子体
结项摘要
项目摘要
项目成果
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数据更新时间：2023-05-31
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