锑基非晶合金薄膜的制备及其吸放锂特性

本项目提出一种采用磁控溅射方法获得锑基合金非日簿膜，并将共应用于锂离子薄膜电池负极的新思路。通过研究锑基合金非晶薄膜的制备工艺并对其进行电化学特性分析，获得该薄膜的制备方法，并研究其作为固态锂离子薄膜电池负极材料使用的可行性，探索利用半导体工艺制备集成化电源的途径。