微型传感-驱动器用锆钛酸铅压电薄膜/金属原型结构的制备科学和表征
基本信息
批准号：50302006
项目类别：青年科学基金项目
资助金额：22.00
负责人：程晋荣
学科分类：
依托单位：上海大学
批准年份：2003
结题年份：2006
起止时间：2004-01-01 - 2006-12-31
项目状态： 已结题
项目参与者：孟中岩,张晓燕,金灯仁,彭东文,杜文娟,郑萍
关键词：
溶胶－凝胶水热合成PZT－金属结构铁电薄膜
结项摘要
锆钛酸铅( PZT )压电薄膜是典型的微型传感-驱动器材料。为了与集成电路技术兼容，通常PZT薄膜被沉积在Pt/Ti/SiO2/Si 衬底上，使其在很多技术领域的应用受到限制。而将PZT薄膜制备在不锈钢(SS)，钛合金等金属衬底上，PZT的传感和驱动功能与工程系统的集成性将显著提高。申请者用钛酸铅(PT)做为过渡层，首次在SS衬底上制备了近4um厚的PZT 薄膜，其介电，铁电和压电性能达到甚至超过在Pt/Ti/SiO2/Si 衬底上制备的PZT薄膜。本项目研究旨在用溶胶-凝胶和水热合成以及两种工艺的结合在多种金属衬底上制备PZT压电薄膜、过渡层控制的制备技术、水热合成和微波烧结的一体化工艺。研究金属衬底与薄膜之间的界面应力/应变状态及独特的耦合机制对铁电薄膜相变行为的影响、系统的弹电相互作用。
项目摘要
项目成果
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数据更新时间：2023-05-31
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