超分辨光瞳滤波理论及其在共焦显微测试系统中的应用研究

研究实现光学系统超分辨成像与测量的超分辨光瞳滤波器设计理论、方法与技术，以及超分辨光瞳滤波器在共焦显微测试系统中的应用，旨在为超分辨光瞳滤波器的设计提供理论依据，同时探索具有超分辨能力的新型共焦显微测试技术。具体包括：1）基于矢量衍射理论，建立将光学系统超分辨特征参数与光瞳滤波器光学性能参数、结构参数和光波偏振特性参数关联在一起的超分辨光瞳滤波器理论模型；2）建立基于矢量衍射理论的超分辨光瞳滤波器制作误差的影响分析模型；3）依据建立的理论模型，设计制作超分辨光瞳滤波器并对其效果进行分析和实验验证；4）研究光瞳滤波器式差动共焦显微测试系统的超分辨特性与实验效果；5）构建基于超分辨光瞳滤波器的三维超分辨共焦显微测试实验装置，预期技术指标为：纵向和横向分辨力分别为2纳米和0.10微米。项目完成后，可为光学系统的光瞳超分辨成像与测试提供一种有效的设计理论、方法和技术，具有重要的理论意义与应用价值。