高灵敏度微流集成光传感器研究

微流集成光传感器是生物传感器领域最新的一个研究方向，本项目的研究目标是将微流集成光传感器的灵敏度提高一个量级以上，同时具有高集成度、小体积、高可靠性和低成本等优点。此传感器采用基于绝缘体硅片(SOI)光波导，利用Mach-Zehnder干涉仪（MZI）、共振微环(MRR)和法布里一珀罗腔（FP）以及微流体技术，通过探测波导上层待测液体折射率的变化，检测液体的浓度、摩尔质量等特性。本项目研究成果可应用于环境监测，也可应用于体液中DNA,RNA,蛋白质分子等的鉴定。经过初步理论分析，此结合MZI和光学共振干涉结构的传感器的探测精度将大大高于普通MZI传感器。本项目将在此基础上进一步建立完整的理论模型，并实验验证这种新型传感器的优越性，最终制作出一种可广泛应用于生物医学和工业环境检测等领域的新型高灵敏度传感器。