差线栅位移传感器研究

提出差线栅位移传感器的思想、构造原理和设计方法。可基于现有的传感器刻线技术，通过将动尺和定尺设计成不同的栅线密度和改变栅线宽度，实现等效栅线数的大幅度增加，并可与现有的传感器计数系统直接接口。提出提高传感器精度、增强原始信号幅值、改善原始信号波形等一系列参数设计准则，从而构成一套比较完整的新型栅式传感器的理论与技术体系。