用于三维电化学微加工技术的五自由度微定位系统研究

三维电化学微加工法是纳米微机电系统加工中用于三维超微图形复制加工的新型技术，该加工方法中的关键技术包括：基于压电陶瓷驱动，具有高精度闭环控制的五自由度纳米及微定位系统的理论与实验研究；液体环境下加工电极与加工件之间力学状态的分析。这些关键技术的突破，将推进微机电系统的复杂三维图形的复制加工向批量化和实用化方面发展。