GaAsIC中的离子注入和光快速退火技术研究
基本信息
批准号：68976013
项目类别：面上项目
资助金额：4.00
负责人：李国辉
学科分类：
依托单位：北京师范大学
批准年份：1989
结题年份：1991
起止时间：1990-01-01 - 1991-12-31
项目状态： 已结题
项目参与者：王玉琦,韩德俊,王文佯,吴瑜光,罗晏,苏荫琴,李晓明,王琦,成步文
关键词：
离子注入技术白光快速退火GAASIC
结项摘要
项目摘要
项目成果
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数据更新时间：2023-05-31
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