氮化铌作为隔离层的铜铌溅射超导腔的研究
基本信息
批准号：10175006
项目类别：面上项目
资助金额：22.00
负责人：谢大韬
学科分类：
依托单位：北京大学
批准年份：2001
结题年份：2005
起止时间：2002-01-01 - 2005-12-31
项目状态： 已结题
项目参与者：鲁向阳,王莉芳,沈子林,朱凤,赵坤,谷安佳,孟铁军
关键词：
铜铌溅射腔隔离层氮化铌
结项摘要
铜铌溅射射频超导腔是当前国际上的研究热点。但其射频超导性能因无氧铜基底的热扩散和静态扩散而变差。本课题提出在铌膜与无氧铜基底间制备一层致密的、热导性好的超导氮化铌隔离层，并进行实验研究和机理分析。解决国际上存在的铜铌射频超导Q值递减的问题，源锏教岣逳b膜的射频超导性能的目的。...
项目摘要
项目成果
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数据更新时间：2023-05-31
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