基于纳米压痕仪技术和MEMS技术对微纳米厚度金属薄膜力学特性的研究
基本信息
批准号：10402023
项目类别：青年科学基金项目
资助金额：23.00
负责人：周志敏
学科分类：
依托单位：上海交通大学
批准年份：2004
结题年份：2007
起止时间：2005-01-01 - 2007-12-31
项目状态： 已结题
项目参与者：周勇,毛海平,丁文,王明军
关键词：
微纳米厚度金属薄膜力学性能纳米压痕技术MEMS技术
结项摘要
本项目采用纳米压痕仪技术作为载荷-位移记录工具，采用MEMS(微机电系统)技术制备金属薄膜的力学构件，对MEMS常用的微纳米厚度金属薄膜的力学性能进行研究。研究单层、多层及复合膜的微桥制备技术，完善微桥法测量微米/亚微米金属薄膜力学特性如弹性模量和残余应力等的力学模型。在此基础上，借助于与微米/亚微米薄膜形成的复合或多层膜的微桥结构，对纳米薄膜力学性能进行创新性研究。研究基于纳米压痕仪技术和MEM
项目摘要
项目成果
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数据更新时间：2023-05-31
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