氧化物超导体电子能量损失谱的研究*3

本课题首次利用微电子技术、MEMS技术和信息处理技术，仿效、依据真空电子技术，将低偏压硅微场致发射阴极锥尖阵列、仿人肌肤阳极膜、真空微腔构成的触觉敏感元与读出传输电路一体化集成的全新思想及制造方法，研究了传感器系统的场致发射阴极锥尖阵列、真穿微腔、仿人肌肤阳极膜、读出电路等的相关基础理论，研究了带真空微腔的阴极锥尖阵列与阳极膜的键合、阳极膜的形成、金属布线等关键技术，特别是触觉敏感元的硅微体加工技术与读出电路的硅微表面加工技术的兼容性工艺，成功地研制了8×2象元的集成真空微电子触觉传感器阵列实验样品，为微型机器人、特种机器人和新型集成真空微电子触觉传感器的研究及开发奠定了一定的技术基础。