MEMS材料与结构的静、动态力学性能测试方法研究
基本信息
批准号：10072017
项目类别：面上项目
资助金额：22.00
负责人：何小元
学科分类：
依托单位：东南大学
批准年份：2000
结题年份：2003
起止时间：2001-01-01 - 2003-12-31
项目状态： 已结题
项目参与者：董萼良,王澄非,黄跃平,康新,冯毅
关键词：
光测力学微电子机械系统显微测量
结项摘要
运用现代光电子技术、远距离显微成象技术和计算机数字图象处理技术，研究适用于微小试样和微小结构力学性能检测的实验测试方法，建立可用于微机电系统（MEMS）结构与材料力学性能测试的实验系统。为MEMS结构的优化设计和MEMS材料的力学性能研究以及逐步建立MEMS结构的静、动态力学特性测试规范提供可靠的实验手段。
项目摘要
项目成果
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数据更新时间：2023-05-31
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