含纳米有序孔阵列的薄膜材料的力学性能研究

阳极氧化铝薄膜具有纳米级规则孔结构，且孔与表面垂直，互不交叉，在材料保护、膜过滤、纳米组装和纳微电子器件、生物材料方面均有广阔的应用前景，因此对其力学性能研究具有重要意义，目前国内外尚无相关文献报道。本项目拟通过自行研制的专门的平面膜微力拉伸装置，结合电子散斑干涉技术实时变形检测系统，获取多孔膜的变形和破坏的定量信息，研究氧化铝薄膜的力学性能以及纳米有序孔尺寸、分布、构型对其力学性能的影响，并与制备工艺相结合，优化工艺过程。同时利用宏细观分析和数值模拟，对多孔氧化铝薄膜的结构特征进行分析，并与实验结果相比较，客观地揭示纳米多孔薄膜材料的力学行为,为薄膜材料的应用和改性提供依据。