多层异径微/纳米结构多孔薄膜及其可调气敏特性研究

基于单层胶体晶体在液体介质中的可转移特性，提出一种多层异径（及异质）微/纳米结构多孔薄膜的合成方法，在常规气敏元件衬底（如：陶瓷管或陶瓷片等）上直接合成多层微/纳米结构多孔薄膜，包括多层异径多孔薄膜、多层异质多孔薄膜、离子掺杂的多层多孔薄膜等；系统研究薄膜结构、孔尺寸、离子掺杂等对气敏特性的影响行为；考察异质多层多孔薄膜在多元混合气体中的气敏选择特性；探索薄膜结构及成份对气敏参数的调控、薄膜的气敏增强机理等。旨在发展微/纳米结构多孔薄膜可控合成方法，实现薄膜气敏参数在较大范围的按需调控；揭示多层多孔薄膜结构、成分和气敏参数之间的关联，深究其气敏机制。本项目的实施，不仅可为新型微/纳米结构气敏器件提供新的设计思想，为微/纳米结构多孔膜在气敏传感方面的器件化提供材料基础与近期可实现性；而且对揭示这类新型薄膜的生长过程、界面结合性质及其气敏增强机理等也具有科学意义。