光敏聚合物CAD成型技术
基本信息
批准号：59075185
项目类别：面上项目
资助金额：5.00
负责人：曹向群
学科分类：
依托单位：浙江大学
批准年份：1990
结题年份：1992
起止时间：1991-01-01 - 1992-12-31
项目状态： 已结题
项目参与者：金彤,章新义,刘滔
关键词：
光刻CAD技术
结项摘要
项目摘要
项目成果
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数据更新时间：2023-05-31
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