新型高致密钛酸钡介质膜的制备及其介电性能的研究

本课题提出一种新方法，用于制备微米级到亚微米级的高致密钛酸钡介质膜。首先利用Sol-Gel法配制钛酸钡前驱体溶液，在经过溶胶和凝胶阶段后，得到纳米尺度的钛酸钡微粒。然后加入分散液，并通过电沉积法将其沉积到基板上，经干燥烧结获得致密的钛酸钡介质膜。此方法将Sol-Gel法和电沉积法有机地结合在一起，一方面，利用Sol-Gel法制备出的钛酸钡纳米微粒具有很高的活性，沉积到基板上后在较低温度下即可烧结成瓷，并可通过成份控制实现较理想的性能；另一方面，电沉积技术又可使钛酸钡纳米微粒非常致密地沉积到基板上，使介质膜的可靠性得到提高。利用此方法制备出的高性能钛酸钡介质膜，将在高性能EMI混合集成电路的多层膜电容的制备中获得应用。